用于KDP類晶體的高精密油浴退火爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710576936.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107475777B 公開（公告）日 2019-05-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN107475777B 申請(qǐng)公布日 2019-05-17
分類號(hào) C30B33/02（2006.01）I; C30B29/14（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 齊紅基; 陳端陽; 邵建達(dá); 謝曉義; 王琤; 王明明; 高杰; 趙波; 張輝; 鄭麗麗 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州銳研科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海恒慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所; 杭州銳研科技有限公司
地址 201800 上海市嘉定區(qū)清河路390號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于KDP類晶體的高精密油浴退火爐，包括保溫筒、保溫蓋，在保溫筒內(nèi)設(shè)有內(nèi)筒，在保溫筒的內(nèi)壁上安裝有加熱器，在加熱器的內(nèi)壁與內(nèi)筒的外壁之間布置有側(cè)壁油道和多孔篩環(huán)，保溫筒的底部上表面和內(nèi)筒的底部下表面之間布置有底部油道，內(nèi)筒底部上表面的中心與出油管的進(jìn)油端相連，出油管的出油端與油泵的進(jìn)口連接，在出油管旁邊安裝進(jìn)油管，進(jìn)油管的進(jìn)油端與油泵的出口相連，進(jìn)油管的出油端位于保溫筒的底部上表面、連通所述的底部油道。本發(fā)明具有很高的溫度均勻性，待退火的晶體附近的溫度均勻性在±0.1℃以內(nèi)，可以為提升KDP類晶體的退火溫度、達(dá)到較為理想的退火效果提供有力的保障。