用于KDP類晶體的高精密油浴退火爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710576936.2 申請日 -
公開（公告）號 CN107475777A 公開（公告）日 2017-12-15
申請公布號 CN107475777A 申請公布日 2017-12-15
分類號 C30B33/02(2006.01)I;C30B29/14(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 齊紅基;陳端陽;邵建達;謝曉義;王琤;王明明;高杰;趙波;張輝;鄭麗麗 申請（專利權(quán)）人 杭州銳研科技有限公司
代理機構(gòu) 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 中國科學院上海光學精密機械研究所;杭州銳研科技有限公司
地址 201800 上海市嘉定區(qū)清河路390號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于KDP類晶體的高精密油浴退火爐，包括保溫筒、保溫蓋，在保溫筒內(nèi)設有內(nèi)筒，在保溫筒的內(nèi)壁上安裝有加熱器，在加熱器的內(nèi)壁與內(nèi)筒的外壁之間布置有側(cè)壁油道和多孔篩環(huán)，保溫筒的底部上表面和內(nèi)筒的底部下表面之間布置有底部油道，內(nèi)筒底部上表面的中心與出油管的進油端相連，出油管的出油端與油泵的進口連接，在出油管旁邊安裝進油管，進油管的進油端與油泵的出口相連，進油管的出油端位于保溫筒的底部上表面、連通所述的底部油道。本發(fā)明具有很高的溫度均勻性，待退火的晶體附近的溫度均勻性在±0.1℃以內(nèi)，可以為提升KDP類晶體的退火溫度、達到較為理想的退火效果提供有力的保障。