一種運(yùn)動裝置及工作平臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120737306.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214428605U 公開（公告）日 2021-10-19
申請公布號 CN214428605U 申請公布日 2021-10-19
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳嘯虎;江旭初;吳火亮;袁嘉欣;唐艷文;董亞聰 申請（專利權(quán)）人 上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 胡彬
地址 200135上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種運(yùn)動裝置及工作平臺，涉及集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域。該運(yùn)動裝置包括座體、垂向運(yùn)動機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動機(jī)構(gòu)，垂向運(yùn)動機(jī)構(gòu)設(shè)置于座體內(nèi)，且能夠沿座體的高度方向上下運(yùn)動；旋轉(zhuǎn)運(yùn)動機(jī)構(gòu)設(shè)置于垂向運(yùn)動機(jī)構(gòu)內(nèi)，旋轉(zhuǎn)運(yùn)動機(jī)構(gòu)能夠相對垂向運(yùn)動機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)，且能夠在垂向運(yùn)動機(jī)構(gòu)的帶動下沿座體的高度方向上下運(yùn)動。本實(shí)用新型提供的運(yùn)動裝置，將垂向運(yùn)動機(jī)構(gòu)設(shè)置于座體內(nèi)，并沿座體的高度方向上下運(yùn)動，垂向運(yùn)動機(jī)構(gòu)的垂向行程可根據(jù)需求設(shè)置，滿足了垂向運(yùn)動的長行程需求。將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動機(jī)構(gòu)設(shè)置于垂向運(yùn)動機(jī)構(gòu)內(nèi)，使得旋轉(zhuǎn)運(yùn)動機(jī)構(gòu)不占用運(yùn)動裝置的垂向空間，滿足運(yùn)動裝置的扁平化設(shè)計。