一種集成雙向驅(qū)動(dòng)的微動(dòng)臺(tái)及運(yùn)動(dòng)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110829557.6 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113446486A 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號(hào) CN113446486A 申請公布日 2021-09-28
分類號(hào) F16M11/06（2006.01）I;F16M11/24（2006.01）I;G01B5/06（2006.01）I;G01B11/06（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機(jī)器或設(shè)備的有效運(yùn)行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 袁嘉欣;江旭初;彭仁強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 陳宏
地址 200135上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于集成電路制備技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種集成雙向驅(qū)動(dòng)的微動(dòng)臺(tái)及運(yùn)動(dòng)裝置。微動(dòng)臺(tái)包括：安裝基座；垂向底座，可沿Z向移動(dòng)地設(shè)置于安裝基座上，且在Rz向上的位置相對安裝基座不變；旋轉(zhuǎn)座，可在Rz方向轉(zhuǎn)動(dòng)地套設(shè)于垂向底座，且在Z向上的位置相對垂向底座不變；雙向驅(qū)動(dòng)裝置，包括同軸且沿Z向并排設(shè)置的垂向電機(jī)組件和旋轉(zhuǎn)電機(jī)組件，垂向電機(jī)組件與旋轉(zhuǎn)電機(jī)組件均與旋轉(zhuǎn)座同軸套設(shè)，垂向電機(jī)組件用于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)座和垂向底座沿Z向相對安裝基座移動(dòng)，旋轉(zhuǎn)電機(jī)組件用于驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)座繞Z向相對安裝基座和垂向底座轉(zhuǎn)動(dòng)。運(yùn)動(dòng)裝置包括上述的微動(dòng)臺(tái)。本發(fā)明公開的微動(dòng)臺(tái)和運(yùn)動(dòng)裝置，有利于實(shí)現(xiàn)微動(dòng)臺(tái)及運(yùn)動(dòng)裝置的輕量化和扁平化設(shè)計(jì)。