一種磁懸浮旋轉(zhuǎn)運動裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110710564.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113422539A 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN113422539A 申請公布日 2021-09-21
分類號 H02N15/00（2006.01）I 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 胡兵;陳懋毓 申請（專利權(quán)）人 上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 陳宏
地址 200135上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路裝備技術(shù)領(lǐng)域，公開一種磁懸浮旋轉(zhuǎn)運動裝置。其中磁懸浮旋轉(zhuǎn)運動裝置包括磁懸浮轉(zhuǎn)子機(jī)構(gòu)、磁懸浮定子機(jī)構(gòu)和測量機(jī)構(gòu)，磁懸浮轉(zhuǎn)子機(jī)構(gòu)包括同軸設(shè)置的姿態(tài)調(diào)整轉(zhuǎn)子組件和旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子組件；磁懸浮定子機(jī)構(gòu)包括同軸設(shè)置的姿態(tài)調(diào)整定子組件和旋轉(zhuǎn)定子組件，姿態(tài)調(diào)整定子組件在豎直方向?qū)?yīng)于姿態(tài)調(diào)整轉(zhuǎn)子組件，姿態(tài)調(diào)整定子組件設(shè)置為能夠驅(qū)動姿態(tài)調(diào)整轉(zhuǎn)子組件進(jìn)行懸浮姿態(tài)調(diào)整；旋轉(zhuǎn)定子組件對應(yīng)于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子組件，旋轉(zhuǎn)定子組件設(shè)置為能夠驅(qū)動旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子組件進(jìn)行懸浮旋轉(zhuǎn)；測量機(jī)構(gòu)設(shè)置為對磁懸浮轉(zhuǎn)子機(jī)構(gòu)進(jìn)行懸浮狀態(tài)測量和旋轉(zhuǎn)狀態(tài)測量。