一種微動臺及運動裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110830550.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113421847A 公開（公告）日 2021-09-21
申請公布號 CN113421847A 申請公布日 2021-09-21
分類號 H01L21/687（2006.01）I;G01B21/08（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 袁嘉欣;江旭初;吳火亮;彭仁強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 陳宏
地址 200135上海市浦東新區(qū)自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于集成電路制備技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種微動臺及運動裝置。微動臺包括：安裝基座；垂向驅(qū)動裝置，安裝于安裝基座上；垂向底座，套設(shè)在垂向驅(qū)動裝置的外側(cè)，垂向驅(qū)動裝置的驅(qū)動端驅(qū)動垂向底座相對安裝基座沿Z方向運動；旋轉(zhuǎn)座，可繞Z方向旋轉(zhuǎn)地套設(shè)在垂向底座上，且在Z方向上的位置相對垂向底座不變；旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)，套設(shè)在旋轉(zhuǎn)座的側(cè)面，用于驅(qū)動旋轉(zhuǎn)座繞Z方向轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)包括同軸間隔套設(shè)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)動子和旋轉(zhuǎn)電機(jī)定子，旋轉(zhuǎn)電機(jī)動子相對旋轉(zhuǎn)座固定，旋轉(zhuǎn)電機(jī)定子相對安裝基座固定。運動裝置包括上述的微動臺。本發(fā)明公開的微動臺和運動裝置，有利于實現(xiàn)微動臺及運動裝置的輕量化和扁平化設(shè)計。