磁浮重力補償裝置和微動臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110804356.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113471112A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113471112A 申請公布日 2021-10-01
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 彭仁強;胡兵;江旭初;龔威;陳懋毓 申請（專利權）人 上海隱冠半導體技術有限公司
代理機構 上海上谷知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 胡五榮
地址 200135上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種磁浮重力補償裝置和微動臺，磁浮重力補償裝置，包括：內(nèi)基磁體、第一端部磁鋼、第二端部磁鋼、內(nèi)磁環(huán)磁鋼和外線圈，其中，內(nèi)基磁體沿軸向延伸；第一端部磁鋼和第二端部磁鋼分別位于內(nèi)基磁體的兩個軸向端并沿軸向延伸，且第一端部磁鋼和第二端部磁鋼的外徑分別沿遠離內(nèi)基磁體的兩個軸向端方向逐漸增大；內(nèi)磁環(huán)磁鋼呈筒狀，且與內(nèi)基磁體同軸地位于內(nèi)基磁體外；外線圈與內(nèi)基磁體同軸地位于內(nèi)磁環(huán)磁鋼外，外線圈相對內(nèi)基磁體、第一端部磁鋼和第二端部磁鋼固定。由于包括外線圈，通過控制外線圈內(nèi)電流的方向和大小，可以控制整個磁浮重力補償裝置在克服工件臺的重力和柔性機構的彈力后的輸出力，滿足微動臺的高運動性能要求。