吸附機(jī)構(gòu)及吸附系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110708390.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113410174A 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN113410174A 申請公布日 2021-09-17
分類號 H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳火亮;江旭初;徐騰肖;董亞聰 申請（專利權(quán)）人 上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海上谷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳程;蔡繼清
地址 200135上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種吸附機(jī)構(gòu)及吸附系統(tǒng)。本發(fā)明中，吸附機(jī)構(gòu)包括：吸盤，吸盤內(nèi)開設(shè)有第一氣道和第二氣道，且吸盤的底部開設(shè)有與第一氣道相通的進(jìn)氣孔；吸盤內(nèi)還設(shè)有與第二氣道相通且貫穿吸盤的頂部的走氣通道；交接裝置，交接裝置設(shè)置在吸盤中；交接裝置具有支撐桿，且支撐桿用于在第一氣道內(nèi)通入氣體時被氣體頂出吸盤的頂部；以及；單向控制閥，設(shè)置在吸盤內(nèi)，連接第一氣道和第二氣道；其中單向控制閥用于在第一氣道內(nèi)通入氣體時關(guān)閉，還用于在抽出第一氣道內(nèi)氣體時打開。與現(xiàn)有技術(shù)相比，使得吸附機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單輕巧、整體尺寸小、且在轉(zhuǎn)動中無線纜干擾，可實現(xiàn)大角度旋轉(zhuǎn)。