半導(dǎo)體制造工藝中的自動(dòng)缺陷去除方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110377371.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112927170A 公開（公告）日 2021-06-08
申請公布號 CN112927170A 申請公布日 2021-06-08
分類號 G06T5/00;G06T7/00;G06T7/70 分類 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù);
發(fā)明人 賈德禮;陳湘芳 申請（專利權(quán)）人 上海哥瑞利軟件股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 輦甲武
地址 200000 上海市閔行區(qū)園文路28號318室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體制造工藝中的自動(dòng)缺陷去除方法，包括：步驟一、代操服務(wù)器通過KVM獲得制造機(jī)臺拍攝到的產(chǎn)品缺陷照片信息；步驟二、代操服務(wù)器向NGINX代理發(fā)送圖像識別請求，NGINX通過負(fù)載均衡的方式向圖像識別引擎發(fā)送識別任務(wù)；步驟三、圖像識別引擎根據(jù)代操服務(wù)器獲得的缺陷圖片通過人工智能算法對缺陷進(jìn)行定位和類別識別；步驟四、將識別結(jié)果信息通過NGINX發(fā)送給代操服務(wù)器，代操服務(wù)器根據(jù)提前設(shè)置的缺陷消除類別規(guī)則，通過KVM控制制造機(jī)臺將特定的缺陷類別進(jìn)行激光消除。本發(fā)明的半導(dǎo)體制造工藝中的自動(dòng)缺陷去除方法，能夠有效提高產(chǎn)品生產(chǎn)和操作的效率，進(jìn)一步提高生產(chǎn)流程的自動(dòng)化水平。