一種籽晶桿

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201120004747.6 申請日 -
公開（公告）號 CN201962422U 公開（公告）日 2011-09-07
申請公布號 CN201962422U 申請公布日 2011-09-07
分類號 C30B35/00(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李紅軍;于海歐;徐軍;陳偉超;唐慧麗;錢小波 申請（專利權(quán)）人 中科協(xié)鑫（蘇州）工業(yè)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 中科協(xié)鑫（蘇州）工業(yè)研究院有限公司;蘇州協(xié)鑫工業(yè)應(yīng)用研究院有限公司
地址 215000 江蘇省蘇州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)昆侖山路68號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種籽晶桿，包括上稱重和桿芯，上稱重與桿芯連接，在桿芯外設(shè)有外套筒，且外套筒與上稱重?zé)o連接；所述外套筒為中空結(jié)構(gòu)，且外套筒上設(shè)有進(jìn)水口和出水口；所述外套筒中的循環(huán)冷卻水自進(jìn)水口流入，再經(jīng)出水口流出。本實用新型具有以下優(yōu)點：1)裝置簡單，成本低，減少了工作量；2)冷卻效果好，同時提高了稱重系統(tǒng)檢測晶體質(zhì)量的準(zhǔn)確性；3)在不影響晶體質(zhì)量檢測的情況下，優(yōu)化了晶體生長工藝，易實現(xiàn)生長系統(tǒng)的自動化。