頂部籽晶熱交換法生長藍寶石晶體

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201820505891.X 申請日 -
公開（公告）號 CN208517586U 公開（公告）日 2019-02-19
申請公布號 CN208517586U 申請公布日 2019-02-19
分類號 C30B29/20;C30B11/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 何明珠;杭寅;朱影;張連翰;蔡雙;徐民;潘世烈;趙興儉;韋建 申請（專利權(quán)）人 新疆紫晶光電技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 830011 新疆維吾爾自治區(qū)烏魯木齊市烏魯木齊高新區(qū)北區(qū)工業(yè)園凈水路999號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種頂部籽晶熱交換法生長藍寶石晶體，它主要包括一個筒形鎢加熱器，其上方有一個可升降的熱交換器，經(jīng)氦氣壓縮機壓縮后的氦氣在熱交換器內(nèi)進行循環(huán)流動，在晶體生長時通過工藝要求可對壓縮氣體的壓力及流量進行調(diào)整并通過調(diào)整熱交換桿的位置使籽晶更好的與坩堝內(nèi)的熔料進行結(jié)合；熱交換桿下端帶有一個夾頭，其上裝有籽晶。熱交換器可完成籽晶的固定、晶體的轉(zhuǎn)動和提拉。用鉬制坩堝，保溫系統(tǒng)為鎢保溫層。外接光電高溫計，監(jiān)測爐內(nèi)溫度變化。晶體生長過程中加熱功率和熱交換器中的氦氣流量分別由可編程自動控制系統(tǒng)獨立控制。使用上述裝置生長藍寶石晶體的方法主要包括：熔料、引晶、晶體生長初期、降溫生長。