頂部籽晶熱交換法生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820505891.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN208517586U 公開(kāi)(公告)日 2019-02-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN208517586U 申請(qǐng)公布日 2019-02-19
分類(lèi)號(hào) C30B29/20;C30B11/00 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 何明珠;杭寅;朱影;張連翰;蔡雙;徐民;潘世烈;趙興儉;韋建 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 新疆紫晶光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 830011 新疆維吾爾自治區(qū)烏魯木齊市烏魯木齊高新區(qū)北區(qū)工業(yè)園凈水路999號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種頂部籽晶熱交換法生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體,它主要包括一個(gè)筒形鎢加熱器,其上方有一個(gè)可升降的熱交換器,經(jīng)氦氣壓縮機(jī)壓縮后的氦氣在熱交換器內(nèi)進(jìn)行循環(huán)流動(dòng),在晶體生長(zhǎng)時(shí)通過(guò)工藝要求可對(duì)壓縮氣體的壓力及流量進(jìn)行調(diào)整并通過(guò)調(diào)整熱交換桿的位置使籽晶更好的與坩堝內(nèi)的熔料進(jìn)行結(jié)合;熱交換桿下端帶有一個(gè)夾頭,其上裝有籽晶。熱交換器可完成籽晶的固定、晶體的轉(zhuǎn)動(dòng)和提拉。用鉬制坩堝,保溫系統(tǒng)為鎢保溫層。外接光電高溫計(jì),監(jiān)測(cè)爐內(nèi)溫度變化。晶體生長(zhǎng)過(guò)程中加熱功率和熱交換器中的氦氣流量分別由可編程自動(dòng)控制系統(tǒng)獨(dú)立控制。使用上述裝置生長(zhǎng)藍(lán)寶石晶體的方法主要包括:熔料、引晶、晶體生長(zhǎng)初期、降溫生長(zhǎng)。