一種適用于多尺寸規(guī)格的晶圓夾持進(jìn)給裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> 201910324233X 申請日 -
公開（公告）號 CN110164813B 公開（公告）日 2019-08-23
申請公布號 CN110164813B 申請公布日 2019-08-23
分類號 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 蔡光達(dá);付宇;劉宇峰;吳朝;王滿;王瑜輝 申請（專利權(quán)）人 湖北華威科智能股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢華旭知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 劉天鈺
地址 436070湖北省鄂州市葛店開發(fā)區(qū)建設(shè)大道特1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種適用于多尺寸規(guī)格的wafer晶圓夾持進(jìn)給裝置，至少包括底座和夾持組件，底座上設(shè)置有上下層疊布局的上拖板和下拖板，底座、上拖板和下拖板三者均為中空結(jié)構(gòu)；夾持組件安裝于上拖板中，所述夾持組件包括托板、撐緊圈以及壓板，撐緊圈連接于上拖板上，壓板固定于托板上，所述托板與上拖板之間設(shè)置有導(dǎo)向?qū)к壓蜌飧?，托板在氣缸的?qū)動下沿著導(dǎo)向?qū)к壴谪Q直方向上下移動。該裝置結(jié)構(gòu)簡單，在不額外增加研發(fā)成本，以及保持原有的效率情況下，能夠快速的完成8吋和12吋的wafer晶圓夾持進(jìn)給機(jī)構(gòu)的切換，并完成8吋(12吋)wafer晶圓夾持進(jìn)給機(jī)構(gòu)在X和Y兩個方向的精準(zhǔn)運(yùn)動。??