一種可對再生圓晶片預(yù)處理的清洗干燥一體設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121546588.2 申請日 -
公開（公告）號 CN214956789U 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN214956789U 申請公布日 2021-11-30
分類號 H01L21/67（2006.01）I;F26B23/04（2006.01）I;F26B25/02（2006.01）I;F26B25/18（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 姜勇鶴;辛長林 申請（專利權(quán)）人 安徽高芯眾科半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳至誠化育知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉英
地址 247100安徽省池州市直屬園區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)金安園區(qū)金同路69號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種可對再生圓晶片預(yù)處理的清洗干燥一體設(shè)備，涉及再生圓晶片的清洗干燥一體設(shè)備領(lǐng)域，包括裝置本體，所述裝置本體頂部的正中固定連接有水箱，管槽的底部設(shè)置第一齒輪，儲水塊的表面開設(shè)有第一孔槽，兩個(gè)第二齒輪的正中對稱開設(shè)有圓槽，兩個(gè)圓槽的右側(cè)設(shè)置有第三齒輪，第三齒輪頂部的正中固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)軸。本實(shí)用新型的一種可對再生圓晶片預(yù)處理的清洗干燥一體設(shè)備，通過設(shè)置的第一齒輪，使得第三齒輪在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，會(huì)與第一齒輪相嚙合，從而帶動(dòng)第一齒輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，第一齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，可帶動(dòng)儲水塊進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，通過設(shè)置的第一孔槽，在儲水塊進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，會(huì)將其內(nèi)腔的水源甩至裝置本體的內(nèi)腔，從而對再生圓晶片進(jìn)行清洗。