一種晶圓高效清洗設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111621743.7 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN114653704A 公開（公告）日 2022-06-24
申請公布號(hào) CN114653704A 申請公布日 2022-06-24
分類號(hào) B08B11/00（2006.01）I;B08B11/02（2006.01）I;B08B1/04（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 辛長林;劉洪剛 申請（專利權(quán)）人 安徽高芯眾科半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥岸藍(lán)坡知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 247100安徽省池州市直屬園區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)金安園區(qū)金同路69號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓高效清洗設(shè)備，屬于清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，集中進(jìn)行清洗，容易造成清洗范圍廣，導(dǎo)致清洗不夠均勻，而逐一進(jìn)行清洗又同時(shí)難以實(shí)現(xiàn)快速、有效的自動(dòng)化清洗過程，包括安裝架，安裝架上端固定安裝有酸洗組件，單一的晶圓通過放置環(huán)形夾具內(nèi)，然后通過傳送帶裝置依次經(jīng)過酸洗、兩次水洗，最后再烘干的過程，實(shí)現(xiàn)快速、自動(dòng)化清洗過程；電機(jī)帶動(dòng)撥桿、環(huán)形圈連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，通過間歇盤使分隔盤作間歇性的轉(zhuǎn)動(dòng)，從而通過弧形逐一將夾模進(jìn)行短暫時(shí)間的駐停，電機(jī)帶動(dòng)凸輪轉(zhuǎn)動(dòng)，使L形推桿帶動(dòng)多軸毛刷上下移動(dòng)，并且通過齒輪組聯(lián)動(dòng)活塞軸轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)多軸毛刷連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)，繼而能實(shí)現(xiàn)對晶圓本體上表面進(jìn)行清洗。