一種半導(dǎo)體零部件清洗用清洗液環(huán)?；厥赵倮醚b置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123284090.6 申請日 -
公開（公告）號 CN216606386U 公開（公告）日 2022-05-27
申請公布號 CN216606386U 申請公布日 2022-05-27
分類號 B08B3/08（2006.01）I;B08B3/10（2006.01）I;B08B3/14（2006.01）I;C02F9/02（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 辛長林;闞云峰;劉洪剛 申請（專利權(quán)）人 安徽高芯眾科半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 西安賽嘉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 247100安徽省池州市直屬園區(qū)經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)金安園區(qū)金同路69號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導(dǎo)體零部件清洗用清洗液環(huán)?；厥赵倮醚b置，包括處理箱，所述處理箱的上端設(shè)置有除油槽，且除油槽的一側(cè)通過管道連通清洗設(shè)備排水口，所述處理箱的上端等間距設(shè)置有多個水冷除油輥，每個所述水冷除油輥的順時針一側(cè)均設(shè)置有油污收集槽，所述油污收集槽的上端靠近水冷除油輥的一側(cè)設(shè)置有四氟刮板，且四氟刮板與水冷除油輥的外壁相抵，所述處理箱的右側(cè)設(shè)置有熱泵機組，通過設(shè)置的水冷除油輥和油污收集槽，便于對清洗液中的油污分離，便于清洗液的凈化，通過設(shè)置的熱泵機組，熱泵機組能夠箱水冷除油輥輸出冷水的同時對凈化后的清洗液進行再次加熱，便于清洗液的后續(xù)再利用，更加節(jié)能環(huán)保。