晶圓固定裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310184451.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103236414B 公開（公告）日 2015-09-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN103236414B 申請(qǐng)公布日 2015-09-30
分類號(hào) H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 朱玉萍;岑剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 景焱（江蘇）智能裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 嘉興景焱智能裝備技術(shù)有限公司
地址 314100 浙江省嘉興市嘉善縣大云鎮(zhèn)嘉善大道2188號(hào)3號(hào)樓1D、1E室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及集成電路芯片處理技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種晶圓固定裝置，包括承載板、限位板和移動(dòng)板，承載板中間開有圓孔并設(shè)置光學(xué)玻璃，限位板為半圓環(huán)形，限位板固定設(shè)置在承載板的第一側(cè)，移動(dòng)板設(shè)置在承載板的第二側(cè)，移動(dòng)板的內(nèi)徑和限位板的內(nèi)徑相等，在承載板的第二側(cè)設(shè)置導(dǎo)向槽和固定部件，移動(dòng)板通過導(dǎo)向件能夠在導(dǎo)向槽內(nèi)移動(dòng)，移動(dòng)板的移動(dòng)方向?yàn)橄尬话宓膬?nèi)圓弧的中點(diǎn)與移動(dòng)板的內(nèi)圓弧的中點(diǎn)的連線方向，固定部件能夠?qū)⒁苿?dòng)板固定在某一位置上，限位板和移動(dòng)板的內(nèi)圓弧的邊緣設(shè)有壓圈。本發(fā)明通過側(cè)邊壓緊方式，使晶圓表面不受損傷。