一種降低螺線線圈的尾部長度公差的方法及螺線線圈及螺線電感
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202010147573.2 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111243852A | 公開（公告）日 | 2020-06-05 |
| 申請公布號(hào) | CN111243852A | 申請公布日 | 2020-06-05 |
| 分類號(hào) | H01F41/04(2006.01)I;H01F27/28(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 顧杰斌;夏偉鋒 | 申請（專利權(quán)）人 | 上海邁鑄半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海漢聲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 上海邁鑄半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 201821上海市嘉定區(qū)嘉定工業(yè)區(qū)葉城路912號(hào)J3408室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種降低螺線線圈的尾部長度公差的方法，先提供一基底，然后于基底上刻蝕螺旋槽孔、通槽及若干個(gè)劃片標(biāo)記，通槽刻蝕于尾段槽孔的一側(cè)，且與尾段槽孔平行，再于螺旋槽孔內(nèi)填充金屬形成螺旋線圈，最后沿著靠近首段槽孔一側(cè)的劃片標(biāo)記及沿著螺旋線圈長度方向兩側(cè)的劃片標(biāo)記進(jìn)行劃片，將螺線線圈從基底上分離。本發(fā)明通過在螺旋線圈的尾部刻蝕將螺旋線圈與基底分隔的通槽，在將螺線線圈從基底上分離下來時(shí)，只需劃三邊即可。螺線線圈的尾部長度的公差值由光刻的精度控制，光刻精度一般可以控制在1微米以內(nèi)，故本發(fā)明提供的一種降低螺線線圈的尾部長度公差的方法，可將螺線線圈的尾部長度公差控制在1微米以內(nèi)。?? |
