一種藍(lán)寶石單晶爐真空系統(tǒng)用的連接法蘭

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620231887.X 申請日 -
公開（公告）號 CN205556855U 公開（公告）日 2016-09-07
申請公布號 CN205556855U 申請公布日 2016-09-07
分類號 C30B29/20(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 高佑君;李志強;代小波;王光明 申請（專利權(quán)）人 獨山晶科光電信息材料有限公司
代理機構(gòu) 北京聯(lián)創(chuàng)佳為專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 獨山晶科光電信息材料有限公司
地址 558200 貴州省黔南布依族苗族自治州獨山縣獨山經(jīng)濟開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種藍(lán)寶石單晶爐真空系統(tǒng)用的連接法蘭，包括有法蘭本體（1），法蘭本體（1）內(nèi)設(shè)有導(dǎo)流槽（6），法蘭本體（1）上設(shè)有與導(dǎo)流槽（6）導(dǎo)通的冷卻水入口（2）和冷卻水出口（3），法蘭本體（1）的通孔內(nèi)設(shè)有支撐架（5），支撐架（5）上連接有若干過濾板（4）。本實用新型具有能減緩密封墊圈老化損壞速度，延長密封墊圈的使用壽命，能凝結(jié)部分抽出氣體中的揮發(fā)物，降低揮發(fā)物對真空泵的性能和壽命的影響的有益效果。