一種減少導(dǎo)模法生長管狀藍寶石晶體開裂的收尾方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410024533.3 申請日 -
公開(公告)號 CN103726101B 公開(公告)日 2016-04-13
申請公布號 CN103726101B 申請公布日 2016-04-13
分類號 C30B15/24(2006.01)I;C30B15/34(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I;C30B29/66(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 朱雁風(fēng);錢梅仙;袁濤;張寒貧;杜小紅 申請(專利權(quán))人 江蘇蘇博瑞光電設(shè)備科技有限公司
代理機構(gòu) 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董建林
地址 221200 江蘇省徐州市睢寧縣經(jīng)濟開發(fā)區(qū)中央大街18號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種減少導(dǎo)模法生長管狀藍寶石晶體開裂的收尾方法,包括:步驟S01,降低生長功率;步驟S02,通過限定頻率和幅度逐漸升高生長功率;步驟S03,逐漸增加提拉速度;步驟S04,當(dāng)管狀藍寶石晶體壁壁厚在預(yù)設(shè)壁厚范圍內(nèi)時,增加提拉速度,提拉晶體使晶體逐漸脫離模具;步驟S05,逐漸降低生長功率;步驟S06,自動降溫。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明使得管狀藍寶石晶體可以完美收尾,不產(chǎn)生開裂,增加了管狀藍寶石晶體成品率。