制備三氯氫硅的方法及系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110500338.3 申請日 -
公開(公告)號 CN113387361A 公開(公告)日 2021-09-14
申請公布號 CN113387361A 申請公布日 2021-09-14
分類號 C01B33/107(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 武珠峰;宋高杰;夏進(jìn)京;劉興平;吳昌勇;馬金杉;潘從偉 申請(專利權(quán))人 內(nèi)蒙古新特硅材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 羅建民;張萍
地址 014100內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市土默特右旗新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制備三氯氫硅的方法及系統(tǒng),該方法包括以下步驟:將四氯化硅、二氯二氫硅、氯化氫通入反應(yīng)精餾塔內(nèi),在催化劑的催化作用下,四氯化硅、二氯二氫硅發(fā)生反歧化反應(yīng),生成三氯氫硅,氯化氫抑制由二氯二氫硅為原料生成硅烷,再精餾,分離出三氯氫硅,在反應(yīng)精餾塔的塔頂?shù)玫椒磻?yīng)精餾塔塔頂排出物。通過改變反應(yīng)精餾系統(tǒng)的平衡組成,向反應(yīng)精餾塔內(nèi)補(bǔ)入氯化氫,抑制由二氯二氫硅為原料生成硅烷,同時氯化氫與二氯二氫硅在催化劑的作用下反應(yīng)生成三氯氫硅,提高了系統(tǒng)運(yùn)行的安全平穩(wěn)性,提高了三氯氫硅的產(chǎn)率,同時提高了二氯二氫硅的回收效率。