改進(jìn)的冷氫化合成三氯氫硅的方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110500459.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113387362A 公開（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN113387362A 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類號(hào) C01B33/107 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 武珠峰;宋高杰;高鎮(zhèn)熙;劉興平;宋正平;吳昌勇;何隆 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古新特硅材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 羅建民;張萍
地址 014100 內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市土默特右旗新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種改進(jìn)的冷氫化合成三氯氫硅的方法及裝置，該方法包括以下步驟：1)將預(yù)熱過(guò)的四氯化硅、氫氣、氯化氫，與過(guò)量的硅粉混合，發(fā)生氯化反應(yīng)，主要生成三氯氫硅，得到第一氣相混合物；2)將第一氣相混合物進(jìn)行氣固分離，將氣固分離得到的固體排出，將氣固分離得到的氣相進(jìn)行加熱，與過(guò)量的硅粉混合，發(fā)生冷氫化反應(yīng)，主要生成三氯氫硅，得到第二氣相混合物。本發(fā)明中的方法促使氯化氫與硅粉反應(yīng)過(guò)程中反應(yīng)向生成三氯氫硅方向移動(dòng)，提高了氯化反應(yīng)過(guò)程中三氯氫硅的轉(zhuǎn)化率，提高了整個(gè)方法中的四氯化硅轉(zhuǎn)化為三氯氫硅的單程轉(zhuǎn)化率。氯化反應(yīng)過(guò)程中反應(yīng)熱作為熱源對(duì)混合氣進(jìn)行加熱，減少冷氫化反應(yīng)系統(tǒng)的補(bǔ)熱量，降低冷氫化系統(tǒng)的能耗。