靜電驅(qū)動MEMS梳齒結(jié)構(gòu)、采用該結(jié)構(gòu)的微鏡及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210508327.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114594594A 公開（公告）日 2022-06-07
申請公布號 CN114594594A 申請公布日 2022-06-07
分類號 G02B26/08;C23C14/22;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00 分類 光學(xué);
發(fā)明人 姜軍委;張妮妮;劉青峰;馬力;楊濤;彭磊;李歡歡;王芳 申請（專利權(quán)）人 西安知象光電科技有限公司
代理機構(gòu) 西安智大知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 弋才富
地址 710000 陜西省西安市高新區(qū)丈八街辦錦業(yè)路69號創(chuàng)業(yè)研發(fā)園C區(qū)1號瞪羚谷70104室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 靜電驅(qū)動MEMS梳齒結(jié)構(gòu)、采用該結(jié)構(gòu)的微鏡及其制備方法；靜電驅(qū)動MEMS梳齒結(jié)構(gòu)，其梳齒表面具有絕緣層，相鄰梳齒表面的絕緣層是同一種絕緣層或者不同絕緣層；采用靜電驅(qū)動MEMS梳齒結(jié)構(gòu)的微鏡從下到上依次由基底、隔離層以及器件層構(gòu)成；微鏡的制作方法采用高溫氧化、等離子增強化學(xué)氣相沉積、低壓化學(xué)氣相沉積、常壓化學(xué)氣相沉積、物理沉積、原子層沉積或分步異質(zhì)沉積法制作絕緣層；即在驅(qū)動梳齒表面和接地梳齒表面得到相同或者不同的絕緣層；當(dāng)驅(qū)動梳齒與接地梳齒產(chǎn)生吸附，則二者表面的絕緣層接觸，不形成短路，具有良好的絕緣效果；本發(fā)明的防止吸附損壞的靜電驅(qū)動式MEMS微鏡結(jié)構(gòu)緊湊，工藝簡單。