芯片級真空密封的靜電式振鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110158136.5 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113009685A 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號(hào) CN113009685A 申請公布日 2021-06-22
分類號(hào) G02B26/08 分類 光學(xué);
發(fā)明人 彭磊;白民宇;周少瑋;姜軍委;馬力;楊彪;周翔;楊濤;王芳 申請（專利權(quán)）人 西安知象光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湯東鳳
地址 710077 陜西省西安市高新區(qū)丈八街辦錦業(yè)路69號(hào)創(chuàng)業(yè)研發(fā)園C區(qū)1號(hào)瞪羚谷70104室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種芯片級真空密封的靜電式振鏡，由基板、背腔板、絕緣層、結(jié)構(gòu)層、平坦層以及前腔板自下而上依次堆疊連接構(gòu)成。振鏡可動(dòng)部分位于真空環(huán)境，相對于非真空密封的振鏡，本發(fā)明的振鏡可動(dòng)部分振動(dòng)時(shí)不會(huì)與空氣作用，從而消除了可動(dòng)部件與空氣作用的噪聲?？蓜?dòng)結(jié)構(gòu)材料內(nèi)部振動(dòng)的能量極小，且由于密封在真空中，所產(chǎn)生的少量振動(dòng)不會(huì)傳導(dǎo)至外部，進(jìn)一步消除了噪聲。振鏡鏡體、驅(qū)動(dòng)梳齒等可動(dòng)結(jié)構(gòu)振動(dòng)時(shí)無空氣阻尼，大幅降低空氣阻尼造成的能量損失，振鏡功耗顯著降低；振鏡鏡體、驅(qū)動(dòng)梳齒等可動(dòng)結(jié)構(gòu)振動(dòng)時(shí)無空氣阻尼，相同驅(qū)動(dòng)電壓下可獲得更大轉(zhuǎn)角；相同轉(zhuǎn)角時(shí)所需驅(qū)動(dòng)電壓低，進(jìn)一步擴(kuò)大了振鏡的應(yīng)用領(lǐng)域，降低了驅(qū)動(dòng)要求。