一種晶圓缺陷檢測機臺
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202120469546.7 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN214313173U | 公開（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申請公布號 | CN214313173U | 申請公布日 | 2021-09-28 |
| 分類號 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 李云華;黃雷 | 申請（專利權）人 | 江蘇矽智半導體科技有限公司 |
| 代理機構 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215334江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)澄湖路248號1號廠房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種晶圓缺陷檢測機臺，包括測試臺，所述測試臺的頂部兩側均設置有立板，所述立板的頂部之間設置有頂板，所述頂板的底部設置有光學檢測裝置，所述立板的底部之間設置有固定組件，所述固定組件兩側的兩端均設置有滑動桿，所述滑動桿遠離所述固定組件的一端均設置有滑動塊一，且所述立板的內側均開設有與所述滑動塊一相配合的滑槽，所述固定組件兩側的中間位置均設置有旋轉組件。有益效果：可以實現(xiàn)對晶圓的固定，從而有效地提高了晶圓在測試臺上的穩(wěn)定性，有效地避免了因晶圓隨意移動而影響光學檢測裝置在其表面上的照射效果，從而有效地保證了晶圓的檢測效果。 |
