一種晶圓封裝電鍍銅的陽(yáng)極盒
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020558749.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212199456U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-12-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212199456U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | C25D17/12(2006.01)I;C25D7/12(2006.01)I | 分類(lèi) | 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 劉恒奎;谷建華 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江蘇矽智半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226400江蘇省南通市南通高新區(qū)金川路東、油榨路北 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓封裝電鍍銅的陽(yáng)極盒，包括底座，所述底座的內(nèi)部中間位置設(shè)置有安裝柱，所述安裝柱上且位于所述底座內(nèi)設(shè)置有鈦板，所述安裝柱上且位于所述鈦板的上方設(shè)置有陽(yáng)極，所述安裝柱上且位于所述陽(yáng)極的頂端設(shè)置有與其相配合的陽(yáng)極布，所述安裝柱上且位于所述陽(yáng)極布的頂端設(shè)置有螺母，所述底座的頂端設(shè)置有與其相配合的頂蓋，所述底座的一側(cè)開(kāi)設(shè)有通孔，所述通孔內(nèi)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一側(cè)且位于所述底座內(nèi)設(shè)置有動(dòng)力機(jī)構(gòu)；其中，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括橫向設(shè)置在所述通孔內(nèi)的連接機(jī)構(gòu)，所述連接機(jī)構(gòu)上設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。有益效果：從而能夠?qū)㈥?yáng)極泥進(jìn)行很好的清理，進(jìn)而便于工作人員的使用。?? |
