用于晶圓封裝領(lǐng)域的化學(xué)鍍鈀溶液及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011385245.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112609172A | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112609172A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號(hào) | C23C18/44(2006.01)I | 分類 | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 洪學(xué)平;姚吉豪 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇矽智半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226400江蘇省南通市南通高新區(qū)金川路東、油榨路北 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種用于晶圓封裝領(lǐng)域的化學(xué)鍍鈀溶液及其制備方法，以質(zhì)量濃度為單位，包括以下濃度的組分：硫酸四氨鈀25?30g/L；絡(luò)合劑30?60g/L；蘋果酸5?10g/L；多氨基多醚基甲叉膦酸5?15g/L；糖精5?9g/L；還原劑2?55?9g/L；配位劑0.1?10g/L；穩(wěn)定劑0.2?0.4g/L；界面活性劑0.05～0.2g/L。將上述硫酸四氨鈀、檸檬酸、蘋果酸、多氨基多醚基甲叉膦酸、糖精、配位劑、穩(wěn)定劑及界面活性劑按上述的比例混合后，采用緩沖劑調(diào)節(jié)pH值6.5?8.5之間后形成鍍鈀溶液，且調(diào)制溫度為50?60℃、鍍鈀時(shí)間為5?15min。使用本發(fā)明鍍鈀溶液得到鍍層結(jié)構(gòu)很致密，鍍層結(jié)晶細(xì)致均勻。?? |
