一種晶圓測試臺
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202020558757.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212083498U | 公開（公告）日 | 2020-12-04 |
| 申請公布號 | CN212083498U | 申請公布日 | 2020-12-04 |
| 分類號 | G01R1/04(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 李云華;尹偉 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇矽智半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226400江蘇省南通市南通高新區(qū)金川路東、油榨路北 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種晶圓測試臺，包括底板，底板的頂端依次設(shè)置有顯微鏡組件、晶圓放置臺及六軸機械臂，且晶圓放置臺位于底板的中心位置，顯微鏡組件位于晶圓放置臺的一側(cè)，六軸機械臂位于底板的一端，且顯微鏡組件與六軸機械臂相垂直，顯微鏡組件的鏡頭位于晶圓放置臺的上方，六軸機械臂遠離底板的一端設(shè)置有夾持機構(gòu)，夾持機構(gòu)底部夾持有探針，晶圓放置臺包括設(shè)置在底板頂端的固定板，固定板的上方設(shè)置有安裝板，固定板的頂端與安裝板的底端分別對應(yīng)設(shè)置有若干U形固定架，U形固定架內(nèi)側(cè)設(shè)置有轉(zhuǎn)動框，位于同一豎直方向的兩個轉(zhuǎn)動框通過轉(zhuǎn)動桿連接。有益效果：提高晶圓測試的精準度。?? |
