一種光柵橫向剪切干涉波前重建過程中的補(bǔ)償方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110720859.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113432731B 公開（公告）日 2022-06-28
申請公布號 CN113432731B 申請公布日 2022-06-28
分類號 G01J9/02（2006.01）I;G01J9/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李鵬;唐鋒;王向朝;盧云君;劉洋 申請（專利權(quán)）人 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
代理機(jī)構(gòu) 上海恒慧知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 201800上海市嘉定區(qū)清河路390號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種光柵橫向剪切干涉波前重建過程中光瞳坐標(biāo)畸變和剪切量變化的同時(shí)補(bǔ)償方法。波前經(jīng)過光柵衍射后各級次衍射波前的形狀及光路均不相同，使得一方面探測器平面檢測到的坐標(biāo)系相對光瞳坐標(biāo)系存在畸變，另一方面剪切量隨著坐標(biāo)位置發(fā)生變化。該方法通過追跡各級次衍射波前的光路，計(jì)算得出待測波前在光瞳面內(nèi)的坐標(biāo)系與各級次衍射波前在探測器面內(nèi)的坐標(biāo)系之間的變換關(guān)系；由該坐標(biāo)系變換關(guān)系可以得知探測器面上各個(gè)位置處檢測到的剪切相位與待測波前中相位的對應(yīng)關(guān)系，進(jìn)而可以構(gòu)建對應(yīng)的波前多項(xiàng)式集合，并通過擬合的方式得到待測波前的多項(xiàng)式擬合結(jié)果，同時(shí)補(bǔ)償光瞳坐標(biāo)系畸變和剪切量變化。