一種高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810400974.7 申請日 -
公開（公告）號 CN108642457A 公開（公告）日 2018-10-12
申請公布號 CN108642457A 申請公布日 2018-10-12
分類號 C23C14/34;B22F1/00;B22F3/04;B22F3/03;B22F3/093;B22F3/10;B22F3/18;B22F3/24 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 李鵬;李家旺;付立政 申請（專利權(quán)）人 湖南有色新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 長沙永星專利商標事務(wù)所（普通合伙） 代理人 周詠
地址 410200 湖南省長沙市望城經(jīng)濟開發(fā)區(qū)金星路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法，該生產(chǎn)方法包括：1、將兩種粒徑范圍不同的鉬粉在真空條件下混合，過篩后得到混合粉料；2、將混合粉料進行等靜壓處理；3、燒結(jié)處理；4、熱軋?zhí)幚恚?；真空退火；6、水切割、銑削加工、磨床加工。通過該方法得到的鉬靶材的長度可達3500mm以上，厚度≤30mm，寬度≤600mm，平面度小于0.08mm，鉬含量≥99.97％，該生產(chǎn)方法的生產(chǎn)效率高，所得高世代鉬靶材的致密度≥99.5％，鉬靶材內(nèi)部組織無氣孔、裂紋、分層、夾雜等缺陷，其表面粗糙度＜0.6um，平均晶?！?0um，晶粒均勻，可作為G10.5代線平面顯示器生產(chǎn)的高純鉬靶；本發(fā)明提供的高世代鉬靶材的生產(chǎn)方法，制備方法簡單，生產(chǎn)成本較低，成品率高，有利于工業(yè)化生產(chǎn)。