一種用于盤、餅狀工件外緣金剛石涂層的裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111356085.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114086150A 公開（公告）日 2022-02-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN114086150A 申請(qǐng)公布日 2022-02-25
分類號(hào) C23C16/27（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I;C23C16/46（2006.01）I;C23C16/52（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 姚毅;曾祥才;馬駿;豐杰;范云貴;羅鑫 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 久鉆科技（成都）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天奇智新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王大剛
地址 641400四川省成都市簡(jiǎn)陽市工業(yè)集中發(fā)展區(qū)賈家中小企業(yè)園（簡(jiǎn)陽市賈家鎮(zhèn)民房村、天宮山村）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于盤、餅狀工件外緣金剛石涂層的裝置及方法，通過設(shè)置冷卻裝夾軸，并控制冷媒在冷卻裝夾軸內(nèi)的流量、壓力等因素，以影響金剛石涂層過程中金剛石生長(zhǎng)的溫度梯度，從而讓金剛石有效的生長(zhǎng)；通過設(shè)置動(dòng)力系統(tǒng)，并與熱絲、冷卻裝夾軸配合，可以讓工件旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而解決涂層不均勻跡象；可以根據(jù)盤、餅類薄形工件形狀、大小的不同，設(shè)置不同熱絲，以及進(jìn)行熱絲的不同布設(shè)位置和方式，可以提高沉積效率。