一種金剛石薄膜加工方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111183392.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113913781A 公開（公告）日 2022-01-11
申請公布號 CN113913781A 申請公布日 2022-01-11
分類號 C23C16/27（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 曾祥才;姚毅;馬駿;羅鑫 申請（專利權(quán)）人 久鉆科技（成都）有限公司
代理機構(gòu) 成都市集智匯華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 冷潔;劉暢
地址 641400四川省成都市簡陽市工業(yè)集中發(fā)展區(qū)賈家中小企業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種金剛石薄膜加工方法及裝置，在工件橫向兩側(cè)布置相互平行的熱絲，所述熱絲進行加熱以在工件的待加工區(qū)域沉積加工出金剛石薄膜，在沉積加工過程中，所述工件沿豎向進行自轉(zhuǎn)，并且所述熱絲沿高度方向進行往復運動或者所述工件沿高度方向進行往復運動。本發(fā)明能使得熱絲產(chǎn)生的熱量均勻覆蓋工件的待加工區(qū)域，提高工件的受熱均勻，確保工件的待加工區(qū)域的各個部位都能均勻被熱絲加熱作用，保障金剛石薄膜的生成質(zhì)量，提高薄膜厚度均勻性、薄膜與基體的結(jié)合力，能在異形工件或大尺寸工件的表面上制備出高耐磨性的金剛石薄膜，大幅提高工件的使用壽命。