一種金剛石薄膜加工方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111183392.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113913781A 公開(kāi)（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN113913781A 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) C23C16/27（2006.01）I;C23C16/44（2006.01）I;C23C16/458（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 曾祥才;姚毅;馬駿;羅鑫 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 久鉆科技（成都）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都市集智匯華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 冷潔;劉暢
地址 641400四川省成都市簡(jiǎn)陽(yáng)市工業(yè)集中發(fā)展區(qū)賈家中小企業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)一種金剛石薄膜加工方法及裝置，在工件橫向兩側(cè)布置相互平行的熱絲，所述熱絲進(jìn)行加熱以在工件的待加工區(qū)域沉積加工出金剛石薄膜，在沉積加工過(guò)程中，所述工件沿豎向進(jìn)行自轉(zhuǎn)，并且所述熱絲沿高度方向進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)或者所述工件沿高度方向進(jìn)行往復(fù)運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明能使得熱絲產(chǎn)生的熱量均勻覆蓋工件的待加工區(qū)域，提高工件的受熱均勻，確保工件的待加工區(qū)域的各個(gè)部位都能均勻被熱絲加熱作用，保障金剛石薄膜的生成質(zhì)量，提高薄膜厚度均勻性、薄膜與基體的結(jié)合力，能在異形工件或大尺寸工件的表面上制備出高耐磨性的金剛石薄膜，大幅提高工件的使用壽命。