一種薄膜力敏芯體電參數(shù)測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121122706.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214585867U 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN214585867U 申請公布日 2021-11-02
分類號 G01R31/28（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫啟萌;邵放 申請（專利權(quán)）人 山東偉航敏芯電子科技有限公司
代理機構(gòu) 濰坊諾誠智匯知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄧鳴
地址 255086山東省淄博市高新區(qū)中潤大道158號MEMS產(chǎn)業(yè)園10號樓一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型適用于薄膜力敏芯體領(lǐng)域，提供了一種薄膜力敏芯體電參數(shù)測試裝置，包括測試儀表和測試轉(zhuǎn)接盒，還包括：能夠通過對力敏芯體進行夾持測量確定力敏芯體的質(zhì)量的芯體測試工裝，所述芯體測試工裝通過導(dǎo)線與測試轉(zhuǎn)接盒連接，測試轉(zhuǎn)接盒通過測試線與測試儀表連接；通過芯體測試工裝對力敏芯體進行夾持測量，測量出的數(shù)據(jù)通過測試儀表顯示，通過芯體測試工裝對力敏芯體的質(zhì)量進行測量避免了引入因不同接觸力度而產(chǎn)生較大的接觸電阻，降低測試準(zhǔn)確性，同時避免了手持觸針測試時容易損傷芯體待測試點的表面。