氧化鋁拋光液及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210324896.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114456718A 公開（公告）日 2022-05-10
申請公布號 CN114456718A 申請公布日 2022-05-10
分類號 C09G1/02（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 鄒興;蔡文必;林武慶 申請（專利權(quán)）人 湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 410000湖南省長沙市高新開發(fā)區(qū)長沙岳麓西大道2450號環(huán)創(chuàng)園B1棟2405房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及拋光液技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及氧化鋁拋光液及其制備方法；氧化鋁拋光液的制備原料包括：氧化鋁微粉、α萘酚聚氧乙烯醚、多元醇、羧酸鈉鹽、消泡劑和pH調(diào)節(jié)劑；其中，pH調(diào)節(jié)劑包括有機(jī)堿和無機(jī)堿的復(fù)配混合物。本發(fā)明的氧化鋁拋光液的制備方法包括：向用多元醇配置的溶液中添加羧酸鈉鹽；再添加氧化鋁微粉；再添加α萘酚聚氧乙烯醚和消泡劑。本發(fā)明的氧化鋁拋光液有利于得到表面質(zhì)量較好的碳化硅晶片。