一種碳化硅晶體生長裝置及碳化硅晶體生長設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023163810.9 申請日 -
公開（公告）號 CN215668293U 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN215668293U 申請公布日 2022-01-28
分類號 C30B29/36（2006.01）I;C30B23/00（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 汪良;張潔 申請（專利權(quán)）人 湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 覃蛟
地址 410000湖南省長沙市高新開發(fā)區(qū)長沙岳麓西大道2450號環(huán)創(chuàng)園B1棟2405房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N碳化硅晶體生長裝置及碳化硅晶體生長設(shè)備，屬于碳化硅籽晶生長技術(shù)領(lǐng)域。該碳化硅晶體生長裝置包括坩堝載具以及坩堝蓋，坩堝載具設(shè)有用于裝載碳化硅原料的裝載部，坩堝蓋設(shè)有用于固定碳化硅籽晶的固定部，坩堝蓋沿高度方向可移動(dòng)地套裝在坩堝載具上，以使裝載部與固定部之間的距離可調(diào)。該碳化硅晶體生長裝置能夠增加碳化硅晶體的生長高度。