碳化硅晶圓化學(xué)機(jī)械拋光裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121736673.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216030138U 公開(kāi)（公告）日 2022-03-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN216030138U 申請(qǐng)公布日 2022-03-15
分類號(hào) B24B37/00（2012.01）I;B24B37/11（2012.01）I;B24B37/27（2012.01）I;B24B37/34（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 黃瑾;張潔;林武慶;汪良 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 嚴(yán)誠(chéng)
地址 410000湖南省長(zhǎng)沙市高新開(kāi)發(fā)區(qū)長(zhǎng)沙岳麓西大道2450號(hào)環(huán)創(chuàng)園B1棟2405房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種碳化硅晶圓化學(xué)機(jī)械拋光裝置，涉及碳化硅晶圓拋光技術(shù)領(lǐng)域，在拋光頭與晶圓保持器連接時(shí)，晶圓保持器能夠在拋光頭的帶動(dòng)下可活動(dòng)地抵持于拋光墊，從而在晶圓保持器夾持有碳化硅晶圓的情況下，使得碳化硅晶圓不斷地被拋光墊磨削而拋光，以實(shí)現(xiàn)對(duì)碳化硅晶圓的拋光。拋光一定時(shí)間后，可以使拋光頭與晶圓保持器分離，移動(dòng)裝置與晶圓保持器連接，移動(dòng)裝置能夠帶動(dòng)晶圓保持器遠(yuǎn)離拋光墊，從而使得被晶圓保持器所夾持的碳化硅晶圓遠(yuǎn)離拋光墊，然后利用清洗裝置清洗碳化硅晶圓、晶圓保持器和拋光墊，在清洗完成后，使得對(duì)碳化硅晶圓繼續(xù)進(jìn)行拋光時(shí)，避免了雜質(zhì)對(duì)碳化硅晶圓造成的損傷，進(jìn)而保證最終成品的表面質(zhì)量和外延品質(zhì)。