一種流體壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310611116.4 申請日 -
公開（公告）號 CN103604556A 公開（公告）日 2014-02-26
申請公布號 CN103604556A 申請公布日 2014-02-26
分類號 G01L9/06(2006.01)I;G01L27/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王進(jìn)朝;柳東強(qiáng);郭玉剛;封玉軍 申請（專利權(quán)）人 無錫市納微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 無錫市納微電子有限公司
地址 214000 江蘇省無錫市新區(qū)菱湖大道97號立業(yè)樓E105
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明為一種流體壓力傳感器，包含取樣管和與取樣管配合連接的殼體底座，在殼體底座中設(shè)置有集成芯片，集成芯片由MEMS壓力傳感器芯片和校準(zhǔn)芯片集成，并且MEMS壓力傳感器芯片和校準(zhǔn)芯片相連接，其中，MEMS壓力傳感器芯片用于感測液體的壓力，并將壓力信號轉(zhuǎn)換成電信號進(jìn)行輸出，校準(zhǔn)芯片用于對MEMS壓力傳感器芯片的輸出進(jìn)行補(bǔ)償。本發(fā)明通過在流體壓力傳感器的殼體底座中設(shè)置MEMS壓力傳感器芯片和校準(zhǔn)芯片集成的集成芯片，能夠縮小流體壓力傳感器。