一種便于觀察的芯片檢查盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023065657.6 申請日 -
公開（公告）號 CN214277923U 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號 CN214277923U 申請公布日 2021-09-24
分類號 G01N21/84（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 芮聰;楊吉明;匡華強(qiáng);范宇;孫杰;張正貴 申請（專利權(quán)）人 江蘇海德半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陳曉華
地址 214400江蘇省無錫市江陰市臨港街道東徐路3號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種便于觀察的芯片檢查盤，包括檢查盤主體和蓋板，檢查盤主體的中部為內(nèi)凹，且檢查盤主體中部設(shè)有若干放置孔，放置孔呈矩陣陣列分布，檢查盤主體的前后兩端設(shè)有兩組開槽，蓋板穿過對應(yīng)組的開槽位于各放置孔的上方或者下方，該便于觀察的芯片檢查盤中，由蓋板插入到對應(yīng)組的開槽中，能夠?qū)π酒疵孢M(jìn)行快速限位，隨后便于觀察，進(jìn)而提高了檢測的效率，提高了檢查盤的實(shí)用性。