一種用于電解法制備NF

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920989125.X 申請日 -
公開（公告）號 CN210855277U 公開（公告）日 2020-06-26
申請公布號 CN210855277U 申請公布日 2020-06-26
分類號 C01B21/083(2006.01)I 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 孫曉;車永強;李超楠;魏磊;王娟;高英武;李梅;楊亞琴 申請（專利權(quán)）人 洛陽昊華氣體科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 471012 河南省洛陽市吉利區(qū)吉利科技園道南路黎明化工研究設(shè)計院吉利產(chǎn)業(yè)園辦公樓103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種用于電解法制備NF3的快速凈化分析系統(tǒng)，包括氣袋(1)、緩沖瓶(2)、堿液瓶(3)，其特征是堿液瓶上裝有分液漏斗(4)，堿液瓶通過氣體采樣泵(5)連接三通(6)；三通(6)一端通過過濾器(7)、氣體干燥器(8)連接于氣相色譜儀(9)，三通(6)另一端通過針閥(11)和第一轉(zhuǎn)子流量計(12)連接于氣體回收管線；氣相色譜儀(9)通過第二轉(zhuǎn)子流量計(10)連接于氣體回收管線；氮氣瓶(13)依次通過減壓閥(14)、球閥(15)、第三轉(zhuǎn)子流量計(16)連接于氣體干燥器(8)的反向吹掃氣進口端，氣體干燥器(8)的反向吹掃氣出口端直接連接于氣體回收管線。該系統(tǒng)能快速實現(xiàn)氣體置換，提高分析效率，并實現(xiàn)堿洗瓶中堿液酸堿度的即時判斷。??