一種高純氣體充裝系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201921365461.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210662295U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-06-02 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210662295U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-02 |
| 分類(lèi)號(hào) | F17C5/06;F17C7/04;F17C13/04;F17C13/02;F17C13/00 | 分類(lèi) | 氣體或液體的貯存或分配; |
| 發(fā)明人 | 李賢武;王娟;弋明濤;張緒銳;王淑芳;徐朝莉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 洛陽(yáng)昊華氣體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 471012 河南省洛陽(yáng)市吉利區(qū)吉利科技園道南路黎明化工研究設(shè)計(jì)院吉利產(chǎn)業(yè)園辦公樓103室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)一種高純氣體充裝系統(tǒng)，包括物料儲(chǔ)罐部分、液泵部分、充裝部分、PLC控制系統(tǒng)四個(gè)部分，物料儲(chǔ)罐部分包括高純氣體儲(chǔ)罐(1)、低壓汽化器(2)；液泵部分包括液泵(3)和高壓汽化器(4)；充裝部分包括充裝面板(5)、電子秤(6)和包裝容器(20)，充裝面板(5)上布置有過(guò)濾器(19)和隔膜閥V12，過(guò)濾器(19)和隔膜閥V12之間的管線上布置有氦氣管(7)、真空管(9)、回收管(8)、分析管(10)、面板壓力傳感器(13)和真空計(jì)(14)；PLC控制系統(tǒng)包括液泵控制柜(15)、充裝控制柜(16)。該高純氣體充裝系統(tǒng)可以手動(dòng)操作，也可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)充裝。包裝容器可以一支或多支如鋼瓶或槽車(chē)的充裝，過(guò)程高效、快捷。 |
