多源并行靜電發(fā)生器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202023327466.2 申請日 -
公開(公告)號 CN214150821U 公開(公告)日 2021-09-07
申請公布號 CN214150821U 申請公布日 2021-09-07
分類號 G01R1/28(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 王鋒;錢衛(wèi)東 申請(專利權(quán))人 蘇州索拉科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州翔遠專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 劉計成
地址 215000江蘇省蘇州市十梓街327號303室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多源并行靜電發(fā)生器,包括多路靜電激發(fā)源、控制機盒和控制器,控制機盒內(nèi)設(shè)有程控基準高壓源,多路可選擇并行邏輯控制電路,可編程邏輯模組,所述程控基準高壓源、多路可選擇并行邏輯控制電路與所述可編程邏輯模組連接,所述程控基準高壓源、多路可選擇并行邏輯控制電路與所述多路靜電激發(fā)源連接,所述程控基準高壓源用于向所述路靜電激發(fā)源提供基礎(chǔ)電源,所述多路可選擇并行邏輯控制電路用于控制所述多路靜電激發(fā)源輸出。本實用新型克服了過去半導(dǎo)體晶圓片產(chǎn)線靜電測試效率不高的問題,有效提升產(chǎn)線測試速度和生產(chǎn)速度,速度可提高4倍,大幅提高半導(dǎo)體晶圓片產(chǎn)線的產(chǎn)量,降低行業(yè)綜合成本,有效提高行業(yè)單位時間的利潤。