多源并行靜電發(fā)生器
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202023327466.2 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN214150821U | 公開(公告)日 | 2021-09-07 |
申請公布號 | CN214150821U | 申請公布日 | 2021-09-07 |
分類號 | G01R1/28(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 王鋒;錢衛(wèi)東 | 申請(專利權(quán))人 | 蘇州索拉科技有限公司 |
代理機構(gòu) | 蘇州翔遠專利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 劉計成 |
地址 | 215000江蘇省蘇州市十梓街327號303室 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型公開了一種多源并行靜電發(fā)生器,包括多路靜電激發(fā)源、控制機盒和控制器,控制機盒內(nèi)設(shè)有程控基準高壓源,多路可選擇并行邏輯控制電路,可編程邏輯模組,所述程控基準高壓源、多路可選擇并行邏輯控制電路與所述可編程邏輯模組連接,所述程控基準高壓源、多路可選擇并行邏輯控制電路與所述多路靜電激發(fā)源連接,所述程控基準高壓源用于向所述路靜電激發(fā)源提供基礎(chǔ)電源,所述多路可選擇并行邏輯控制電路用于控制所述多路靜電激發(fā)源輸出。本實用新型克服了過去半導(dǎo)體晶圓片產(chǎn)線靜電測試效率不高的問題,有效提升產(chǎn)線測試速度和生產(chǎn)速度,速度可提高4倍,大幅提高半導(dǎo)體晶圓片產(chǎn)線的產(chǎn)量,降低行業(yè)綜合成本,有效提高行業(yè)單位時間的利潤。 |
