一種含水性感光樹脂及其光致抗蝕劑干膜

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110712446.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113419403A 公開（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN113419403A 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) G03F7/004（2006.01）I;G03F7/027（2006.01）I;C08F220/18（2006.01）I;C08F220/04（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 劉罡 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江西惠美興科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 341000江西省贛州市安遠(yuǎn)縣版石工業(yè)區(qū)榮暉工業(yè)園6號(hào)廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明制備了一種含水溶性丙烯酸酯感光樹脂及其光致抗蝕劑干膜，該抗蝕劑干膜主要含（1）水溶性丙烯酸樹脂、（2）光聚合化合物、（3）光起始劑及（4）其它助劑等原料。其可作為光阻涂料用于干膜光阻，并最終應(yīng)用于印刷電路板等電子元器件的生產(chǎn)。其中水溶性丙烯酸酯由一定比例的2?乙基丙烯酸、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯甲基、丙烯酸仲丁酯及丙烯酸異辛酯等合成而得。該光致抗蝕劑干膜的分辨率、附著力性能及線路尺寸穩(wěn)定性優(yōu)良，在印刷電路及其他電子元器件上具有廣闊的應(yīng)用前景。