一種掩膜提籃
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201520799305.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN204966469U | 公開（公告）日 | 2016-01-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN204966469U | 申請(qǐng)公布日 | 2016-01-13 |
| 分類號(hào) | H01L21/673(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 徐彬;王福強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 山東百利通亞陶科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 山東百利通亞陶科技有限公司 |
| 地址 | 250103 山東省濟(jì)南市高新區(qū)開拓路2333號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種掩膜提籃。在盒體內(nèi)中部設(shè)有垂直于盒體后側(cè)板的立板，立板從上到下間隔設(shè)有若干個(gè)向左凹的左凹槽，立板從上到下間隔設(shè)有若干個(gè)向右凹的右凹槽，左凹槽和右凹槽交錯(cuò)設(shè)置，在與每個(gè)左凹槽的開口正對(duì)應(yīng)的盒體右側(cè)板內(nèi)側(cè)面上設(shè)有右凸臺(tái)，在與每個(gè)右凹槽的開口正對(duì)應(yīng)的盒體左側(cè)板內(nèi)側(cè)面上設(shè)有左凸臺(tái)，在立板的左凹槽和右凹槽上密布有若干個(gè)第一漏孔，在盒體的左側(cè)板、右側(cè)板、后側(cè)板上密布有若干個(gè)第二漏孔。本實(shí)用新型在充分利用盒體內(nèi)空間的情況下，使用時(shí)增加了上下相鄰兩掩膜之間的距離，從而便于工人抽出掩膜，提高了工作效率，并且不易使污染物存儲(chǔ)在左凸臺(tái)、右凸臺(tái)處，不會(huì)對(duì)晶片造成污染。 |
