一種掩膜盛放盒

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520739973.7 申請日 -
公開（公告）號 CN204905230U 公開（公告）日 2015-12-23
申請公布號 CN204905230U 申請公布日 2015-12-23
分類號 H01L21/673(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐彬;孫建平 申請（專利權(quán)）人 山東百利通亞陶科技有限公司
代理機構(gòu) 濟南舜源專利事務(wù)所有限公司 代理人 閆曉燕
地址 250103 山東省濟南市高新區(qū)開拓路2333號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種掩膜盛放盒。它包括盒體，盒體的左右兩端開口設(shè)置，在盒體內(nèi)設(shè)有板體，在板體上設(shè)有一組第一網(wǎng)孔，在板體上設(shè)有存放盒，在存放盒底部設(shè)有一組第二網(wǎng)孔，板體的第一網(wǎng)孔與存放盒的第二網(wǎng)孔相對應(yīng)設(shè)置，在板體下方的盒體內(nèi)設(shè)有集灰盒，集灰盒的頂部開口設(shè)置，在盒體側(cè)壁內(nèi)設(shè)有第一進氣通道，在盒體頂部設(shè)有與第一進氣通道相連通的進氣腔，在盒體內(nèi)頂部設(shè)有一組與進氣腔相連通的出氣口，在盒體底部設(shè)有與第一進氣通道相連通的第一進氣口。本實用新型能夠清理粘附于掩膜上的污染物，并且使污染物與掩膜分開，不會使污染物再次影響其它掩膜。