一種負(fù)壓承載裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201520799135.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN204991666U 公開（公告）日 2016-01-20
申請(qǐng)公布號(hào) CN204991666U 申請(qǐng)公布日 2016-01-20
分類號(hào) H01L21/67(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 亓凱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東百利通亞陶科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 代理人 山東百利通亞陶科技有限公司
地址 250103 山東省濟(jì)南市高新區(qū)開拓路2333號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種負(fù)壓承載裝置。它包括承載座、吸塵分類裝置和抽真空裝置；承載座包括底座，支架將凹腔分隔為若干個(gè)凹腔單體，在支架上固連有蓋合凹腔的蓋板，蓋板上密布有若干個(gè)與凹腔相連通的吸孔，在承載座一側(cè)設(shè)有氣體分流器，每個(gè)凹腔單體通過第一管路與氣體分流器相連；吸塵分類裝置包括箱體，兩擋板與箱體內(nèi)壁之間形成鐵屑收集室，兩擋板之間的箱體底部設(shè)有出氣孔，在箱蓋上設(shè)有進(jìn)氣孔，氣體分流器通過第二管路與進(jìn)氣孔相連；抽真空裝置通過第三管路與出氣孔相連。本實(shí)用新型使用時(shí)將掩膜的拆卸工序放在承載座上進(jìn)行，承載座上表面形成負(fù)壓狀態(tài)，螺絲間殘存的鐵屑、臟污能夠通過吸孔清除，從而保證了產(chǎn)品的質(zhì)量，維護(hù)了生產(chǎn)環(huán)境。