一種大尺寸硅片切割方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911116711.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113119328A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN113119328A 申請公布日 2021-07-16
分類號 B28D5/04（2006.01）I;B28D7/00（2006.01）I;B28D7/04（2006.01）I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 李建弘;李海彬;唐昊;史丹梅;劉曉偉;危晨 申請（專利權(quán)）人 天津市環(huán)智新能源技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津諾德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 欒志超
地址 300450天津市濱海新區(qū)濱海高新區(qū)塘沽海洋科技園康祥道32號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種大尺寸硅片切割方法，步驟包括：先將硅棒粘接在固定基座上；再在所述硅棒表面粘接至少一組引導(dǎo)條；再用金剛石線鋸將帶有所述引導(dǎo)條的所述硅棒切割成硅片；其中，所述引導(dǎo)條位于所述硅棒遠(yuǎn)離所述固定基座一側(cè)的底面設(shè)置，所述引導(dǎo)條與所述固定基座對位設(shè)置且與所述金剛石線鋸垂直設(shè)置；所述引導(dǎo)條位于所述硅棒靠近所述金剛石線鋸一側(cè)底面或側(cè)面設(shè)置。本發(fā)明切割方法，粘棒時在硅棒底面或側(cè)面粘接磁引導(dǎo)條，引導(dǎo)條被切割分離后，切割后每個獨立的單體引導(dǎo)條的磁極發(fā)生變化，成為兩兩互斥的個體，硅片在這種互斥力的作用下，相鄰硅片之間自然張開，進(jìn)而有利于冷卻液進(jìn)入，使硅粉排除，減少硅片翹曲和劃痕；提高硅片的鋸切速度。