一種可調(diào)慢提拉清洗系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022901183.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN213716849U 公開(kāi)（公告）日 2021-07-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN213716849U 申請(qǐng)公布日 2021-07-16
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/673（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王大偉;武治軍;危晨;趙越;李建弘;范俊杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 天津市環(huán)智新能源技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 欒志超
地址 300450天津市濱海新區(qū)塘沽海洋科技園康祥道32號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種可調(diào)慢提拉清洗系統(tǒng)，在水槽內(nèi)具有：用于放置片籃的承載裝置；以及用于限定所述承載裝置升降位置的限位裝置；其中，所述承載裝置靠近所述片籃一側(cè)的平面被設(shè)置為沿所述水槽長(zhǎng)度方向任一側(cè)傾斜設(shè)置；所述承載裝置帶動(dòng)所述片籃傾斜地沿所述水槽高度方向上下移動(dòng)；所述限位裝置使所述承載裝置在所述承載裝置下限位置和上限位置時(shí)使所述承載裝置靠近所述片籃一側(cè)的平面水平設(shè)置。本實(shí)用新型可使硅片快速脫水，同時(shí)也使片籃中的水液完全被釋放瀝凈，無(wú)任何水液殘留，硅片表面清洗干凈，無(wú)水印殘留，烘干效果好，節(jié)約資源且提高烘干效率，與硅片及片籃放置架的尺寸和形狀無(wú)關(guān)，實(shí)用性強(qiáng)且易于推廣。