一種片籃承載裝置及設(shè)有該承載裝置的滿(mǎn)提拉清洗系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022901092.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213716848U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213716848U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-16 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 王大偉;武治軍;危晨;趙越;李建弘;范俊杰 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 天津市環(huán)智新能源技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 欒志超 |
| 地址 | 300450天津市濱海新區(qū)塘沽海洋科技園康祥道32號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種片籃承載裝置，至少包括托盤(pán)架和用于放置片籃的放置架，所述放置架沿其長(zhǎng)度方向任一側(cè)被傾斜設(shè)置在所述托盤(pán)架上方，所述托盤(pán)架托起傾斜設(shè)置的所述放置架上下移動(dòng)。本實(shí)用新型還提出一種設(shè)有該承載裝置的滿(mǎn)提拉清洗系統(tǒng)。本實(shí)用新型提出的承載裝置，能使載有硅片的片籃在上升或下降的清洗過(guò)程中被穩(wěn)定傾斜放置，同時(shí)還可使其在上限位置和下限位置時(shí)被水平設(shè)置，保證片籃在放置或取出時(shí)被水平托載，同時(shí)還可使片籃在放置時(shí)被精準(zhǔn)放置在承載裝置中；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且易于調(diào)節(jié)，可加速硅片表面水液的流動(dòng)，清洗效果好，保證硅片表面質(zhì)量，且片籃中不易有水液殘留。 |
