一種太陽(yáng)能硅片清洗方法、硅片、電池、組件及清洗系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011399155.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN112420494A 公開(kāi)(公告)日 2021-02-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN112420494A 申請(qǐng)公布日 2021-02-26
分類號(hào) H01L21/02(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李建弘;危晨;劉濤;趙越;唐昊 申請(qǐng)(專利權(quán))人 天津市環(huán)智新能源技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 欒志超
地址 300450天津市濱海新區(qū)塘沽海洋科技園康祥道32號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種太陽(yáng)能硅片清洗方法,對(duì)硅片進(jìn)行藥液清洗和氧化清洗之前,對(duì)硅片依次進(jìn)行低溫氧化清洗和氧化去除,其中,在進(jìn)行低溫氧化清洗時(shí),采用低溫氧化溶液對(duì)硅片進(jìn)行清洗,在硅片表面形成氧化層;在進(jìn)行氧化去除時(shí),采用酸溶液對(duì)硅片進(jìn)行清洗,去除硅片表面氧化層。本發(fā)明的有益效果是在低溫環(huán)境下對(duì)硅片進(jìn)行清洗,降低金屬離子在硅片中的擴(kuò)散速度,減少硅片金屬離子含量,提高硅片少數(shù)載流子壽命,提高硅片性能,提升太陽(yáng)能電池轉(zhuǎn)換效率。??