無(wú)變頻三維陣列等離子共振傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720553346.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN206756692U 公開(kāi)（公告）日 2017-12-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN206756692U 申請(qǐng)公布日 2017-12-15
分類號(hào) G01N21/59(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉鋼;許浩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 量準(zhǔn)（上海）實(shí)業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金蓄專利代理有限公司 代理人 馬賀
地址 200233 上海市徐匯區(qū)田林路388號(hào)新業(yè)大樓1號(hào)樓501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種無(wú)變頻三維陣列等離子共振傳感器，包括等離子共振基底，為納米結(jié)構(gòu)的空腔陣列，其上覆蓋多層材料結(jié)構(gòu)層，包括從下至上依次排布的第一金屬層、絕緣層和第二金屬層，該多層材料結(jié)構(gòu)層在基底內(nèi)形成內(nèi)嵌于所述等離子共振傳感器中的光學(xué)諧振腔陣列，所述光學(xué)諧振腔為錐形杯狀的空腔。解決了現(xiàn)有技術(shù)等離子共振傳感器檢測(cè)靈敏度有限，且裝置大型不便于攜帶的技術(shù)問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了超靈敏、免標(biāo)記的生物分子檢測(cè)，為實(shí)現(xiàn)早期發(fā)現(xiàn)疾病生物標(biāo)記物的便攜式醫(yī)用生物傳感器的開(kāi)提供基礎(chǔ)。