無變頻三維陣列等離子共振傳感器的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710351449.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106950200A 公開（公告）日 2017-07-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN106950200A 申請(qǐng)公布日 2017-07-14
分類號(hào) G01N21/59 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉鋼;許浩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 量準(zhǔn)（上海）實(shí)業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京金蓄專利代理有限公司 代理人 馬賀
地址 200233 上海市徐匯區(qū)田林路388號(hào)新業(yè)大樓1號(hào)樓501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種無變頻三維陣列等離子共振傳感器的制備方法，包括如下步驟：(1)準(zhǔn)備錐形納米柱模具，在所述模具表面均勻分布對(duì)苯二甲酸乙二醇酯片材；(2)在紫外光下進(jìn)行固化，形成周期性納米孔模式的對(duì)苯二甲酸乙二醇酯襯底；(3)將模具內(nèi)形成的襯底從模具中剝離出來，在錐形納米柱內(nèi)表面形成第一金屬層，在所述第一金屬層上表面形成絕緣層，再將金屬沉積于所述絕緣層上表面形成第二金屬層，由此形成內(nèi)嵌于所述錐形納米柱襯底的納米光學(xué)諧振腔。本發(fā)明提供一種操作簡(jiǎn)單、條件可控的方法得到檢測(cè)靈敏度高、便于攜帶的等離激元共振傳感器，為實(shí)現(xiàn)早期發(fā)現(xiàn)疾病生物標(biāo)記物的便攜式醫(yī)用生物傳感器的開提供基礎(chǔ)。